中国科学院兰州化物所固体润滑实验室
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等离子增强化学气相沉积设备
日期:2012-04-13 | | 【

  等离子增强化学气相沉积设备
功能: 制备各种类金刚石薄膜、金刚石薄膜、有机薄膜、碳纳米管等。

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