专利
专利名称: 一种10nm级免液氦极低温减振系统
专利类别: 发明
第一发明人: 龚珍彬; 张俊彦; 周妍
其他发明人:
申 请 号:
专 利 号: 202110345632.1
申请日期: 20210331
专利授权日期: 20211214
国外申请方式:
国外申请日期:
国外授权日期:
专利证书号:
专利摘要:
实施情况:
其他备注:
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