王敬宇，左长明，姬 洪
(电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川 成都 610054)
摘要: 常温下用直流溅射法在Si(100)上淀积Pt/Ti电极薄膜.采用X射线衍射、原子力显微镜检测不同退火温度的薄膜，结果表明，退火初期Pt层内首先产生了压应力，从而使Pt表面形成了小丘凸起；退火过程产生的热应力在Pt层残余应力的产生中占主导地位，这种热应力使得Pt层最后的应力状态为张应力状态并且随着Pt层中Pt3Ti金属间化合物数量的增多而增大。
关键词: Pt/Ti电极；X射线衍射；应力
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《分析测试技术与仪器》，2010, 16(3):162~165
