摘要：为了有效提高钛合金耐微动磨损和抗微动疲劳性能，且避免银脆隐患，在Ti811钛合金表面利用离子辅助磁控溅射沉积技术制备了不同调制周期的Ag/Ni金属多层膜，测试了多层膜的结构、结合强度、显微硬度和韧性，研究了不同调制周期的Ag/Ni多层膜对钛合金基材微动磨损和微动疲劳抗力的影响，并与纯Ag膜和纯Ni膜进行了对比。结果表明：离子辅助磁控溅射技术可以制备出致密度高、晶粒细致、结合强度高的Ag/Ni多层膜，多层膜的硬度随多层膜调制周期的减小而提高，调制周期小于100nm时呈现明显的超硬度现象。Ag/Ni多层膜具有良好的减摩润滑作用和抗疲劳性能，能够显著改善Ti811钛合金耐微动磨损和抗微动疲劳性能，改善效果随多层膜调质周期降低而增大。

关键词:　微动疲劳　微动磨损　多层膜　磁控溅射　钛合金

作者单位

刘道新 西北工业大学腐蚀与防护研究室，陕西西安 710072 

王振亚 西北工业大学腐蚀与防护研究室，陕西西安 710072　 

张晓化 西北工业大学腐蚀与防护研究室，陕西西安 710072　 

刘国华 西北工业大学腐蚀与防护研究室，陕西西安 710072　 

唐宾 太原理工大学表面工程研究所，　山西太原　030024 

E-mail: liudaox@nwpu.edu.cn 

《摩擦学报》,2010,30(5):498~504